Получены новые результаты для некоторых конкретных комбинаций подложки и слоев (кварц, ниобат лития, металлы, диэлектрики). Все основные результаты представлены в виде двумерных контурных карт, изображающих зависимости характеристик распространения от двух параметров (например, толщина слоя и угол Эйлера).
Показано, что некоторые комбинации подложки и слоя (слоев) позволяют улучшить некоторые характеристики распространения. В частности, некоторые срезы и ориентации, которые не являются термостабильными, можно сделать таковыми с помощью напыления металлического слоя (например, Al, Ni, Au и другие на YX-кварце). Пьезоэлектрический слой с большим коэффициентом электромеханической связи на пьезоэлектрической подложке с высокой температурной стабильностью позволяет получить устройство с большим коэффициентом электромеханической связи и отличными температурными свойствами. Например, слой ниобата лития на кварцевой подложке позволяет получить коэффициент электромеханической связи почти 4 % при нулевой величине температурного коэффициента задержки (или частоты).
Комбинация металлического и диэлектрического слоев позволяет обеспечить защиту поверхности кристалла от внешних механических, химических и электрических воздействий без существенного ухудшения свойств распространения волны.
Металлический слой позволяет также существенно уменьшить потери распространения псевдоповерхностных волн первого и второго порядка.
Все эти возможности демонстрируются в данной работе.
Библиографическая ссылка
Чередник В.И., Двоешерстов М.Ю., Чириманов А.П., Петров С.Г., K.Bhattacharjee Акустические волны в многослойных структурах // Успехи современного естествознания. – 2003. – № 11. – С. 101-101;URL: https://natural-sciences.ru/ru/article/view?id=15328 (дата обращения: 17.08.2024).