Научный журнал
Успехи современного естествознания
ISSN 1681-7494
"Перечень" ВАК
ИФ РИНЦ = 0,736

Акустические волны в многослойных структурах

Чередник В.И. Двоешерстов М.Ю. Чириманов А.П. Петров С.Г. K.Bhattacharjee
Рассмотрено влияние различных материалов на поверхности пьезоэлектрической подложки на характеристики распространения поверхностных и псевдоповерхностных акустических волн. Сформулированы общие уравнения, в том числе волновые уравнения и уравнения граничных условий, для многослойных систем. Рассмотрены различные материалы, в частности, кристаллические, металлические и непьезоэлектрические диэлектрические слои. Рассмотрения таких произвольных комбинаций не имеется в опубликованных работах.

Получены новые результаты для некоторых конкретных комбинаций подложки  и  слоев  (кварц, ниобат лития, металлы, диэлектрики). Все основные результаты представлены в виде двумерных контурных карт, изображающих зависимости характеристик распространения от двух параметров (например, толщина слоя и угол Эйлера).

Показано, что некоторые комбинации подложки и слоя (слоев) позволяют улучшить некоторые характеристики распространения. В частности, некоторые срезы и ориентации, которые не являются термостабильными, можно сделать таковыми с помощью напыления металлического слоя (например, Al, Ni, Au и другие на YX-кварце). Пьезоэлектрический слой с большим коэффициентом электромеханической связи на пьезоэлектрической подложке с высокой температурной стабильностью позволяет получить устройство с большим коэффициентом электромеханической связи и отличными температурными свойствами. Например, слой ниобата лития на кварцевой подложке позволяет получить коэффициент электромеханической связи почти 4 % при нулевой величине температурного коэффициента задержки (или частоты).

Комбинация металлического и диэлектрического слоев позволяет обеспечить защиту поверхности кристалла от внешних механических, химических и электрических воздействий без существенного ухудшения свойств распространения волны.

Металлический слой позволяет также существенно уменьшить потери распространения псевдоповерхностных волн первого и второго порядка.

Все эти возможности демонстрируются в данной работе.


Библиографическая ссылка

Чередник В.И., Двоешерстов М.Ю., Чириманов А.П., Петров С.Г., K.Bhattacharjee Акустические волны в многослойных структурах // Успехи современного естествознания. – 2003. – № 11. – С. 101-101;
URL: http://natural-sciences.ru/ru/article/view?id=15328 (дата обращения: 17.10.2019).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1.074