Scientific journal
Advances in current natural sciences
ISSN 1681-7494
"Перечень" ВАК
ИФ РИНЦ = 0,775

Рассмотрено влияние различных материалов на поверхности пьезоэлектрической подложки на характеристики распространения поверхностных и псевдоповерхностных акустических волн. Сформулированы общие уравнения, в том числе волновые уравнения и уравнения граничных условий, для многослойных систем. Рассмотрены различные материалы, в частности, кристаллические, металлические и непьезоэлектрические диэлектрические слои. Рассмотрения таких произвольных комбинаций не имеется в опубликованных работах.

Получены новые результаты для некоторых конкретных комбинаций подложки  и  слоев  (кварц, ниобат лития, металлы, диэлектрики). Все основные результаты представлены в виде двумерных контурных карт, изображающих зависимости характеристик распространения от двух параметров (например, толщина слоя и угол Эйлера).

Показано, что некоторые комбинации подложки и слоя (слоев) позволяют улучшить некоторые характеристики распространения. В частности, некоторые срезы и ориентации, которые не являются термостабильными, можно сделать таковыми с помощью напыления металлического слоя (например, Al, Ni, Au и другие на YX-кварце). Пьезоэлектрический слой с большим коэффициентом электромеханической связи на пьезоэлектрической подложке с высокой температурной стабильностью позволяет получить устройство с большим коэффициентом электромеханической связи и отличными температурными свойствами. Например, слой ниобата лития на кварцевой подложке позволяет получить коэффициент электромеханической связи почти 4 % при нулевой величине температурного коэффициента задержки (или частоты).

Комбинация металлического и диэлектрического слоев позволяет обеспечить защиту поверхности кристалла от внешних механических, химических и электрических воздействий без существенного ухудшения свойств распространения волны.

Металлический слой позволяет также существенно уменьшить потери распространения псевдоповерхностных волн первого и второго порядка.

Все эти возможности демонстрируются в данной работе.