Ионное азотирование предназначено для поверхностного упрочнения деталей из конструкционных сталей различных структурных классов (перлитного, мартенситного и аустенитного), титановых сплавов и сплавов на основе тугоплавких металлов. При этом повышается прочность, твердость, износостойкость, коррозионная стойкость.
Принцип действия ионного азотирования заключается в том, что в разряженной азотосодержащей газовой среде между катодом и анодом возбуждается тлеющий разряд, и положительные ионы с высокой энергией, бомбардируя поверхность детали, нагревают ее до температуры насыщения и внедряются в нее, формируя твердый раствор азота в металле, а при достижения предела растворимости - нитридные фазы. Структура азотированного слоя в общем случае состоит из двух зон: внешней - нитридные зоны и располагающейся под ней диффузионной зоны, состоящей из твердого раствора с дисперсными включениями промежуточных фаз.
Зубчатое колесо устанавливают в рабочую камеру ИА типа НШВ-28. Далее через камеру прокачивается смесь азота с водородом, отношение концентрации было равно 1. Обычно рабочее давление в камере 0-665 Па, напряжение разряда 400-800 В, ТОК 0-1А, температура при обработке 300-500°С.
Процесс выполняли в 2 стадии:
1) очистка детали катодным распылением;
2) насыщение.
Катодное распыление проводили в течении 30 мин, при напряжении 1100 В и давлении 20 Па. Данный процесс выполняли при температуре 500°С и разряжении 800 Па. Продолжительность процесса заняла около 2 часов. Твердость зубчатого колеса изготовленная из стали 40Х, после азотирования составила 5800 МПа, что повысило стойкость, износостойкость зубчатого колеса по сравнению с не азотированным в 2 раза.